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超低温速冻机的冷冻技术
日期：2024-05-19 07:15
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摘要：
真空溅镀是材料表面处理的重要方法之一，目前，高产能的连续化真空溅镀生产线已成为防EMI 的主导设备，其主要包括以 DIP 作主真空泵，BP+RP 作前级泵实现真空腔体的高真空 （10-3Pa量级），氩气作气源，开关电源供电，磁控阴极靶源等。这种生产线具有加工成本低、生产效率高且环保无污染等优点而得到广泛应用。连续化真空溅镀生产线始端有 2 个过渡真空腔体，前者是低真空过渡腔体，后者是高真空过渡腔体。前者由大气压力向低真空过渡，此过程速度较快，不影响整条生产线节拍；后者由低真空向高真空过渡，此环节是整条生产线中慢的，尤其是在多雨季节。要加快此节拍，目前通常做法有三：
一是加大抽真空设备功率；
二是设置容积块，缩小腔体自由空间；
三是设置深冷泵，加快达到高真空。通过初步对比研究，我们认为，加大抽真空设备功率，收效小，耗能高，不经济；设置容积块，受腔体结构制约，效果差，维护保养不便；采用超低温速冻机对生产线进行改造，达到高真空压力时间可大为缩短，功耗增加不大，维护方便。
一是加大抽真空设备功率；
二是设置容积块，缩小腔体自由空间；
三是设置深冷泵，加快达到高真空。通过初步对比研究，我们认为，加大抽真空设备功率，收效小，耗能高，不经济；设置容积块，受腔体结构制约，效果差，维护保养不便；采用超低温速冻机对生产线进行改造，达到高真空压力时间可大为缩短，功耗增加不大，维护方便。
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